主な特性：

• 表面抵抗：10⁶ ～ 10¹¹ オーム/平方メートルの範囲

• 材料構成：酸化アルミニウム、窒化ケイ素、ジルコニアをベースに、TiC、TiN、カーボンなどの導電性成分をドープ

• 機械的強度：高硬度、耐摩耗性、熱安定性を維持

• 静電気放散：電子部品の損傷を防止

用途例：

• 半導体製造装置

• 電子部品搬送トレイや工具

• クリーンルーム環境

• 静電気制御が必要な精密固定具や絶縁部品

• これらの材料は、セラミックスの耐久性と静電気対策を両立させた、現代の電子機器および先端製造分野に不可欠な素材です。